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合肥工业大学 无锡维度申请用于晶圆表面无损检测专利,可快速精确识别晶圆缺陷:无损检测
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金融界2025年4月18日消息,国家知识产权局信息显示,合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法”的专利,公开号CN1198
2025-05-11
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